国光夏金松教授到访我院介绍光电子微纳平台

10月20日下午，光电国家实验室（筹）光电子微纳制造工艺平台主任夏金松教授应邀到访我院。夏教授介绍了国家实验室光电子微纳工艺开放平台的情况，重点介绍了微纳加工技术，包括高精度半导体微纳加工技术、电子束曝光、干法刻蚀等工艺，并就相关工艺和参会师生进行了现场交流。学院副院长杨克成教授主持了交流会，学院新进教师及相关课题组人员、部分研究生代表参加了本次交流会。